证券之星音讯，依据天眼查APP多个方面数据显现芯联集成（688469）新取得一项实用新型专利授权，专利名为“硅烷尾气处理设备”，专利申请号为CN2.9，授权日为2024年11月29日。
专利摘要：本实用新型触及半导体制作技术领域，供给了一种硅烷尾气处理设备，包含：焚烧箱和过滤单元；所述过滤单元包含过滤通道、滤网以及抽吸设备，所述过滤通道的一端与所述焚烧箱的内腔连通，所述过滤通道的另一端与所述抽吸设备的进气端连通，所述滤网设置有多个，各所述滤网沿过滤通道的走向方向摆放设置于所述过滤通道内，由接近所述焚烧箱的一侧至接近所述抽吸设备的一侧，各所述滤网的网孔孔径顺次变小。该硅烷尾气处理设备将焚烧发生的明火限定在焚烧腔内，且经过多层滤网，能安全高效地处理硅烷尾气，削减尾气自燃发生的黄色烟雾及明火排放。
本年以来芯联集成新取得专利授权68个，较去年同期增加了11.48%。结合公司2024年中报财务数据，本年上半年公司在研制方面投入了8.69亿元，同比增33.75%。
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