(记者康学翠通讯员祖天林李林啸)日前,坐落沧州临港经济技能开发区的沧州华宇特种气体科技有限公司年产5000吨电子特气项目进入试出产。公司厂区内,几个80多米高的精馏塔设备安稳运转。据了解,项目建造的硅烷气出产设备为全国单套产能最大的硅烷气出产设备,其首要出产电子级硅烷气。
电子特种气体是国家大力支持开展的新资料,被称为“芯片血液”,使用在集成电路制作中的刻蚀、薄膜堆积等环节,对集成电路的功能、集成度和成品率有较大影响。电子级硅烷气是一种高纯度的电子特种气体,不只用于电子半导体、光伏、显现面板等范畴,更是高功能锂电池硅碳负极资料、颗粒硅的首要原资料,可有用处理新能源电动汽车的续航才能及光伏工业的本钱和环保问题。
沧州华宇特种气体科技有限公司是一家致力于推进电子特种气体国产化,专门干电子半导体、光伏、显现面板、高功能锂电池负极资料等高端范畴气体资料的研制、出产、运营企业。2023年1月,公司开工建造年产5000吨电子特种气体项目。该项目总投资5.93亿元,建造的硅烷气出产设备国产化率达80%。项目投产后,每年可出产5000吨电子级硅烷气,可完成产量20亿元、税收3.2亿元。
在该项目中,沧州“华宇”与中国科学院协作,形成了具有自主知识产权的改进氯硅烷歧化法技能及反响精馏技能。该技能合适大规模出产,出产效率高、能耗低、本钱低。使用该技能,出产的悉数进程安全又环保,产出的电子硅烷气纯度高。一起,企业引进先进出产设备,挑选环保资料和零部件,选用清洁出产技能,削减能源消耗和废弃物发生。