7月22日，一辆来自广东的专用运输车，在河南硅烷科技公司二期生产线完成高纯硅烷气灌装后，正要返程。“这里的高纯硅烷气产品的质量达到国际一流水平，改变了我们以前生产高端电子科技类产品需要高价进口高纯硅烷气的局面。”随车业务员高兴地说。

  “6月25日，我们公司年产3000吨高纯硅烷气二期项目建成投产。截至目前，装置运行平稳，主要指标达到或超过国外同种类型的产品要求，标志着我们已形成高纯硅烷气产业化生产能力。”河南硅烷科技公司董事长蔡前进说。

  河南硅烷科技企业成立于2012年5月，是由中国平煤神马集团、中国平煤神马集团许昌首山焦化有限公司等共同合资组建的混合所有制企业。

  该公司于2014年9月建成一期年产600吨ZSN法高纯硅烷生产线年下半年转入正式生产，打破了少数发达国家的技术垄断，成为国内唯一一家掌握规模化硅烷生产核心技术的科学技术创新型企业。公司产品纯度可达8N级（国标为4N级），已替代部分国外进口产品，并远销台湾和东南亚地区，目前国内市场占有率10%以上，被誉为“中国硅烷”。

  据介绍，该公司高纯度硅烷气实现产业化生产，为国内高端半导体、大规模集成电路芯片、高端多晶硅等产业破解受制于人的困局，提供了必要的材料支撑。该公司一期、二期项目均采用独创的硅烷法生产技术，使关键指标转化率由0.1%增至接近100%。同时，依托首山焦化有限公司生产的氢气及蒸汽等，使生产所带来的成本较国际同种类型的产品低30%以上，打通了集团由传统能源到新能源新材料，即煤、焦、焦炉煤气、氢气、硅烷的产业链条。“正是由于我们打破了国外垄断，使国内高纯硅烷市场每吨价格由200余万元降至20万元以下。”该公司CEO孟国均说。

  该公司因此被授予“国家高新技术企业”称号并挂牌“新三板”。在2016年完成河南省重大科学技术专项“高纯硅烷气的新型关键技术探讨研究”的基础上，该公司又被河南省列入2018年“高纯硅烷CVD法制备电子级多晶硅关键研发技术及产业化”项目重大科学技术专项、河南省混合所有制试点单位，成为河南省打造千亿级高纯硅材料电子产业集群的核心项目。

  “二期项目的建成，使公司成为全世界第二大高纯硅烷气生产商，国内高纯硅烷市场占有率将增长至40%以上。”蔡前进表示，下一步，该公司规划投资50亿元，建设三期年产1.5万吨高纯硅烷气、1500吨电子级多晶硅和1000吨区熔级多晶硅项目，最终打造出国内最大、国际一流的硅产业集群。（张建超）