硅烷在常温常压下为无色、有毒、非常活跃的压缩气体。在室温下着火，在空气或卤素气体中发生爆炸性燃烧。即使用其它气体稀释，如果浓度不够低．仍能自燃。硅烷在氩气中含2%、氮气中含2.5%、氢气中含1%时，它仍能着火。硅烷浓度在小于1%时不燃，大于3%时自燃，1%～3%时可能燃烧。硅烷是强还原剂，与重金属卤化物激烈反应，与氯、溴发生爆炸性反应，与四氯化碳激烈反应。因此对硅烷不可以使用氟里昂灭火剂。硅烷不溶于乙醇、、苯、氯仿和四氯化硅。不与润滑油、脂肪反应。对几乎所有的金属无腐蚀性。有时，玻璃中的碱成分也能分解硅烷。溶解在二硫化碳中的硅烷遇到空气也可发生爆炸。硅烷大范围的使用在硅的外延生长、多晶硅、氧化硅、氮化硅等的原料，太阳能电池，光导纤维，有色玻璃制造，化学气相淀积。

　　使用硅烷的工作场所要通风，保持室内空气干燥。硅烷装置要严格密封，避免和空气、水分相接触，为此，用气装置在使用前要用惰性气体置换里面的空气后抽真空，这样反复进行置换和抽真空，一定要彻底清除系统中的空气和水分。装置使用以后，也要用惰性气体置换清洗系统中的硅烷。可以用氦探漏器探漏。少量硅烷泄漏时，从氧化硅粉末的折出中也可以得知。钢瓶要存放在阴凉干燥通风良好之处，要远离热源和氯、溴等氧化剂。工作场所要配备足够的防护用品及应急用品。硅烷本身无腐蚀性，能够正常的使用碳钢、不锈钢、铜、黄铜、蒙乃尔、耐蚀镍基合金。也可用聚四氟乙烯、聚三氟氯化乙烯聚合体、尼龙、三氟氯乙烯树脂、聚乙烯、聚酯、石英玻璃。不能用铅、橡胶、脂肪、润滑油、玻璃。凡是可燃性的有机高分子材料应该避开使用。当硅烷大量泄漏时。紧接着就要着火，所以没办法用灭火器灭火。但是能控制火势，使火灾不向周围蔓延。燃烧时辐射热不太高，所以应尽可能去关闭阀门以止住气体的流出。可用白雪石粉或石墨粉熄火。废气可用水或碱吸收，或者在特殊燃烧器中燃烧成SiO2之后用专门的过滤器捕捉。储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。应与易（可）燃物、氧化剂分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。密闭操作，局部排风。操作人员一定经过专门培训，严格遵守操作规程。建议操作人员佩戴过滤式防毒面具（半面罩）。远离易燃、可燃物。防止气体泄漏到工作场所空气中。避免与氧化剂接触。搬运时轻装轻卸，防止钢瓶及附件破损。配备泄漏应急处理设备。

　　用一个减压器或独立的控制阀安全地从气瓶内释放硅烷。用单向阀来防止倒流。不要用明火或其它附近的热源加热钢瓶的任何部分。

　　用氢离子检测器监测硅烷的修理和在空气中的扩散，用红外/紫外监测器监测火灾 。所以的监测器都应有内锁，一经发现问题立即自动切断硅烷气源。

　　硅烷系统中不允许使用填压阀，只允许使用非填压的膜阀和波纹管阀。在其分配系统中应安装过流阀或过流开关。这样做才能够在下游管线发生爆炸时切断气源。这个开关阀应安装得离气源越近越好。

　　如有可能应避免单独一个人操作钢瓶。所有的操作都应这样进行,若发生泄漏，处理紧急状况的人能立即赶到。

　　监测系统应装备备用或应急电源。必须有遥控紧急开关，必要时可关闭硅烷气源。

　　一定不要拉、滚动或滑动容器。用合适的手推车来移动容器，别妄图抓住气瓶的盖子来拎起它。保证气瓶在使用的全过程中为固定状态。

　　不可将工具(如：扳手，螺丝刀，等) 插入阀盖内。 否则会损坏阀门并引起泄漏。

　　一旦钢瓶与吹扫和钝化过的系统连接好，应缓慢仔细地打开钢瓶阀。如果使用者在操作气瓶阀时有困难，需不再使用，并与供应商联系。

　　使用可调节的带扳手来打开过紧或生锈的阀盖。所有管路和相关设备接地。电器设备必须防火花和防爆。