三（三甲基硅基）磷（Tris(trimethylsilyl)phosphate），是一种有机物，化学式为(C3H9Si)3PO4。它是一种无色或微黄色的液体，具有较高的耐热性和化学稳定性，不溶于水，但可溶于多种有机溶剂。它可当作有机组成中的中间体或催化剂，用于组成其他有机磷化合物。
向回流冷凝器中参加温度计1000ml三颈烧瓶，参加352g（3.24mol）三甲基氯硅烷和115g（1mol）磷酸二氢铵，在拌和下在78°C下拌和3小时。过滤反响后，滤液为磷酸三（三甲基甲硅烷基）粗品，然后线g三（三甲基硅基）磷，收率89.6%。废气吸收设备连接到回流冷凝器的出口。废气吸收设备用水吸收发生的氯化氢气体[1]。
酰氯和三(三甲基硅基)膦反响，发生磷杂乙炔化物，例如制备叔丁基磷杂乙炔。
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