三氯硅烷是一种含有硅，氢和氯元素的化合物，溶于苯、醚等大都有机溶剂，相对密度为1.37，相对密度为4.7，性质安稳 。对眼和呼吸道粘膜有激烈刺激作用。高浓度下，引起角膜混浊、呼吸道炎症，乃至肺水肿。与氧化剂产生反响，有焚烧风险。极易蒸发，在空气中发烟，遇水或水蒸气能产生热和有毒的腐蚀性烟雾。当产生走漏时，应敏捷撤离走漏污染区人员至安全区，并进行阻隔，严厉约束收支，堵截火源。应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿消防防护服，从优势处进入现场。堵截走漏源，避免进入下水道、排洪沟等约束性空间。
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