这是由于硅-卤键的特别生动性，由三甲基氯硅烷动身，能够组成一系列含硅-官能团结构的有机硅化合物，如三甲基烷氧基硅烷、六甲基二硅氧烷、六甲基二硅氮烷、三甲基氰基硅烷等。因而，常常密封于阴凉枯燥处保存。由于受热或遇水分解放热，会放出有毒的腐蚀性烟气。有腐蚀性。因而要慎重运用。
总而言之，三甲基氯硅烷应当贮于低温通风处，远离火种、热源。与氧化剂、酸碱类等分储分运。当三甲基氯硅烷走漏时应当敏捷撤离走漏污染区人员至安全区，并进行阻隔，严厉约束收支。堵截火源。主张应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿消防防护服。不要非直接触摸走漏物。尽可能堵截走漏源，避免进入下水道、排烘沟等约束性空间。
小量走漏：用砂土、枯燥石类或苏打灰混合。也能够用不燃性分散剂制面的乳液冲洗，洗液稀释后放入废水体系。
很多走漏：构筑围堤或挖坑收留。用泡沫掩盖，下降蒸气灾祸。用防爆泵转移至槽车或专用收集器内，收回或运至废物收回处理场所处置。
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